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干式真空泵如何进行优化选择

干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然目前还没有使用,除了价格偏高之外,还有干式真空泵用户不到位,看不到经济效益带来的企业,有了这些不同类型的干式真空泵,我们一直都在渴望能够减小其物理尺寸。
干式真空泵有这么多不同的设计,各有各的特点和优缺点。历史上,使用成本一直是影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到,真空泵的稳定性也应该被考虑在内。因为真空泵意外错误会造成机器使用效率降低,影响晶圆的生产和交货,甚至造成晶圆废料和其他零件的加工损坏。总的来说,如果用户认为耗电量对他来说是很重要的,那么选择一个内部加压螺钉可能是一个不错的选择,而氮含量对他来说是不重要的。但总的来说,对尾气处理的要求越来越严格,减少未来使用的氮气量就显得尤为重要。如果您想要处理各种各样的半导体工艺,而不用一种简单的库存控制泵来改变它们,外部压紧螺丝是很好的选择。根据情况,结合以上所有设计类型的优势必须是理想的选择,但还不可能。 因此,用户需要知道干泵的设计有多种不同的设计类型,然后根据自己的工艺特点来了解不同类型泵设计的影响。 这种选择可以使其使用成本较小化,并获得更长的使用寿命和稳定的真空系统。